喷淋式兆声波清洗技术在晶圆载具清洗设备中的应用 面向高端制造的革新 : 喷淋式兆声波清洗技术在晶圆载具清洗设备中的应用 在精密制造领域，尤其是半导体产业链中，洁净度是决定产品良率与性能的生命线。晶圆载具作为承载与运输晶圆的关键器具，其表面的微观污染物，即便是亚微米级别的颗粒，也足以在后续工艺中导致电路短路、断路等致命缺陷，造成巨大的经济损失。因此，开发能够高效、彻底地清除此类污染物的清洗技术，成为支撑产业向更先进制程迈进的核心环节之一。为此，我们公司在最新一代晶圆载具清洗设备的研发中，前瞻性地导入了喷淋式兆声波喷淋这一复合清洗技术，旨在实现对 0.1µm（微米）级颗粒 的卓越清洗能力，为高端制造提供坚实的装备保障。 一、 直面行业痛点：为何0.1µm颗粒的清洗是技术分水岭？ 随着半导体器件特征尺寸的不断缩小，对污染物的控制要求已进入纳米级别。0.1µm的颗粒，其尺寸仅相当于人类头发直径的千分之一，在常规的物理冲刷或传统超声波清洗下，面临诸多挑战： [...]

光刻胶超声波预处理工艺 光刻胶超声波预处理工艺 | 双光子聚合微纳3D打印精度保障技术 在微纳制造领域，双光子聚合增材制造凭借超高分辨率、高精度成形优势，成为制备微型精密构件、光学器件、生物微结构的核心技术。这项技术的成型精度不仅取决于激光设备与扫描控制系统，更依赖光刻胶材料的纯净度、均匀度与稳定性。未经优化处理的光刻胶往往存在组分分散不均、微小颗粒杂质、内部气泡等问题，极易造成打印结构残缺、精度偏差、表面瑕疵。而以超声波技术为核心的光刻胶预处理工艺，能够系统性解决材料缺陷问题，为高精度3D打印筑牢材料根基。 光刻胶是双光子聚合打印的核心感光材料，其材料状态直接决定成型质量。常规配置的光刻胶，在原料混合、调配过程中，容易出现功能组分团聚沉降、微量杂质残留，同时搅拌过程会裹挟大量微小气泡。这些肉眼难以察觉的缺陷，在微纳尺度打印中会被无限放大：颗粒杂质会阻断激光聚合反应，形成结构空洞；气泡会导致打印层凹凸不平，引发结构变形；组分不均则会让材料感光灵敏度存在差异，造成成型精度参差不齐。因此，标准化、精细化的预处理工艺，是双光子聚合高精度制造不可或缺的前置环节。 整套预处理工艺形成了搅拌、混合、超声、过滤、脱泡、涂覆的完整闭环流程，各环节层层递进、相辅相成，全方位优化光刻胶性能。前期的搅拌与混合工序是基础，通过匀速机械搅拌让光刻胶中的树脂基体、感光引发剂、功能助剂等各类组分充分融合，避免单一成分富集或沉降，初步实现材料体系的均匀化，为后续超声精细化处理打下良好基础，保障材料基础性能统一。 超声波处理是整套工艺的核心关键。利用超声波的高频振动、空化效应与微射流作用，能够穿透光刻胶内部，打破细微组分的团聚颗粒，让各类功能性原料分散更均匀。相较于传统搅拌方式，超声处理无机械搅拌死角，可有效细化材料体系，改善光刻胶的流动性与均一性。同时，高频振动还能松动材料中附着的微量杂质与凝结颗粒，为后续过滤净化提供便利，大幅提升光刻胶的纯净度。 超声处理完成后，过滤与脱泡工序进一步剔除材料缺陷。高精度过滤可精准拦截光刻胶中的固体颗粒、未溶解团聚物等杂质，彻底消除硬质颗粒对微纳打印的干扰，避免成型结构出现针孔、裂纹等瑕疵。脱泡工序则通过静态稳压结合流体调控的方式，释放材料内部裹挟的微小气泡，杜绝气泡在激光聚合过程中造成的成型缺陷，保障光刻胶整体状态均匀稳定。 最后的涂覆工序是成型前的关键收尾。经过全流程优化的光刻胶，会通过可控涂覆工艺均匀铺展在基材表面，形成厚度均匀、质地平整、无杂质无气泡的胶层。稳定的胶层状态，能够确保激光扫描过程中，每一处区域的聚合反应速率、固化深度保持一致，从源头保障双光子聚合打印的尺寸精度与结构完整性。 [...]

多孔陶瓷微球是如何制备的 ？ 多孔陶瓷微球是如何制备的 ？超声喷雾热解 | 上海瀚翎科学 陶瓷微球是以无机硅酸盐为主要原料，经特殊工艺加工制成的陶瓷球体或类球体，直径多处于微米至毫米级别。结合国内外研究现状，按结构差异可将其分为实心型、中空型与多孔型三类。 这类材料既具备陶瓷本身低密度、较高比强度、优良耐腐蚀性等特性，又兼具微球的均一性与极高比表面积，因此在催化、生物医学、药物释放等领域应用广泛。对陶瓷微球而言，尺寸与孔隙结构的变化对其在催化、吸附等领域的应用影响显著。其中，陶瓷多孔微球因特殊的形貌与结构（球体外壳层或内核层分布着连通或封闭的孔结构），兼具低密度、高孔隙率与大比表面积等优势，目前已在药物缓释、催化分离等领域展现出重要应用价值。 一、氧化铝多孔陶瓷微球的发展 氧化铝微球长期以来是科研与生产领域的常用材料。国内最早关于氧化铝微球的研究报告由朱洪波于 [...]

超声喷雾热解制备TiO₂球形光催化剂 超声喷雾热解制备TiO₂球形光催化剂 : 原理、工艺、性能与应用 超声喷雾热解（USP）是一种可规模化的连续式粉体合成技术，适配制备单分散、粒径可控的球形TiO₂光催化剂。该技术依托超声波雾化前驱体溶液，经载气输送至高温炉，通过溶剂蒸发、溶质沉淀、热分解烧结等步骤，一步合成球形TiO₂颗粒。相较于溶胶-凝胶、水热等传统工艺，USP具备形貌均匀、结晶度可控、流程简便、无需复杂后处理等优势，在污染物降解、光解水制氢、空气净化等领域具备广阔应用前景。 一、核心制备原理与过程 完整的USP系统由四大核心部件组成：1.6–2.4 MHz超声雾化器，可将前驱体溶液雾化为1–10 μm均匀液滴；载气系统以空气、氮气等为介质，调控0.5–2 L/min流量输送液滴、控制反应气氛；分段控温高温管式炉，温控范围300–1200℃；以及袋式过滤器等粉体收集装置。 [...]

超声喷雾热解技术及其在陶瓷粉末制备中的应用 超声喷雾热解技术及其在陶瓷粉末制备中的应用 | 上海瀚翎科学 超声喷雾热解技术是一种先进的材料合成方法，特别适用于制备高纯度、均匀性优良的无机陶瓷粉末。该技术通过将前驱体溶液雾化为微米级别的液滴，并在高温反应环境中实现瞬间热分解与反应，最终获得具有特定组成与形貌的粉末材料。在陶瓷材料领域，该技术被广泛应用于制备氧化锆（ZrO₂）、氧化钇（Y₂O₃）等高性能陶瓷粉末，这些材料在结构陶瓷、功能陶瓷及电子陶瓷等领域具有重要应用价值。 超声喷雾热解设备是该工艺的核心装置，通常由以下几个关键部分组成：前驱体溶液供给系统、超声波雾化装置、高温反应炉、气路控制系统以及粉末收集装置。其工作流程如下：首先，将含有目标金属离子的可溶性盐溶液（如锆盐或钇盐）配置成适当浓度的前驱体溶液；随后，利用高频超声波振动将溶液破碎成微细的雾滴；这些雾滴由载气输送至高温反应炉中，在数百至上千摄氏度的温度下迅速蒸发、热解并发生固相反应，形成所需的氧化物粉末；最后，通过旋风分离器或静电收集器等装置将生成的粉末从气流中分离出来。 该技术相较于传统的固相反应法、共沉淀法或溶胶-凝胶法具有诸多优势。首先，由于雾滴的微米级尺寸及其在高温下的快速反应，所制备的粉末具有较高的化学均匀性和相纯度。其次，通过调节前驱体溶液的组成、浓度以及工艺参数（如雾化频率、反应温度、停留时间等），可以精确控制最终产物的颗粒大小、形貌和晶体结构。例如，在制备氧化锆基陶瓷粉末时，可通过调控钇的掺杂量及热处理条件，获得具有特定相组成（如四方相或立方相）和优异力学性能的粉末材料。 在氧化锆粉末的制备过程中，通常选用锆盐（如氧氯化锆或硝酸锆）作为锆源，通过超声喷雾热解技术可直接获得纳米至亚微米级别的氧化锆粉末。该粉末具有颗粒分布窄、团聚程度低、烧结活性高等特点，非常适用于制备高强度、高韧性的结构陶瓷部件。类似地，在制备氧化钇粉末时，可采用相应的钇盐溶液作为前驱体，通过优化热解温度与气氛条件，可获得高纯度的Y₂O₃粉末，这类材料在荧光基质、透明陶瓷及高温防护涂层等领域具有广泛应用。 除了单一氧化物体系，超声喷雾热解技术也适用于多组分复合陶瓷粉末的合成。例如，通过将锆盐和钇盐按一定比例混合配置成前驱体溶液，可一步法制备出钇稳定氧化锆（YSZ）粉末，该材料因其优异的热稳定性和离子导电性而被广泛用于固体氧化物燃料电池的电解质层。此外，通过引入其他金属离子（如铝、镁、钙等），还可拓展至更复杂的多元氧化物体系，满足不同应用场景对材料性能的需求。 值得注意的是，该技术的工艺参数对最终产物的性能具有决定性影响。例如，雾化频率直接影响液滴的尺寸分布，进而影响粉末的颗粒大小；反应温度则关系到前驱体的分解程度、晶相形成以及颗粒的结晶性；而载气流速和反应停留时间则共同决定了颗粒的形貌和团聚状态。因此，在实际应用中需通过系统实验优化这些参数，以获得具有理想性能的陶瓷粉末。 [...]

制备球形度氧化锆（ZrO₂）与氧化铝（Al₂O₃）粉体 制备球形度氧化锆（ZrO₂）与氧化铝（Al₂O₃）粉体 | 超声喷雾热解工艺 | 上海瀚翎科学 采用超声喷雾热解工艺，可实现高球形度氧化锆（ZrO₂）与氧化铝（Al₂O₃）粉体的制备，并对颗粒尺寸与形貌进行精密调控。该系统致力于在连续式中试规模运行条件下，获得球形度高、粒径分布集中、工艺稳定的目标产物。 目标产物特征如下： - 材料：氧化锆与氧化铝（以硝酸盐前驱体溶液为原料） [...]

兆声波清洁技术 兆声波清洁技术 | 兆声清洗技术原理 | 上海瀚翎科学 兆声波清洁技术是一种先进的声学清洁方案，其原理温和且高效，可广泛应用于晶圆、光学元件、医疗植入物及工业零部件等领域。与传统的超声波清洁相比，兆声波系统具备更高的工作频率，能够在精密清洁过程中提供更细致的处理能力。 该系统通过压电换能器产生声学能量，所采用的频率通常在 0.8 至 [...]

超声波雾化系统在干粉吸入剂喷雾干燥中的应用 超声波雾化系统在干粉吸入剂喷雾干燥中的应用 : 从实验室研发到工业化生产的技术路径 干粉吸入剂是一种将微粉化药物以干粉形式经口腔吸入肺部的给药系统，主要用于治疗哮喘、慢性阻塞性肺疾病等呼吸系统疾病，其有效性和安全性高度依赖于药物颗粒的粒径控制。一般认为，适合肺部给药的空气动力学直径范围为1～5微米——粒径过大易沉积于上呼吸道，过小则可能被呼出体外，难以在靶部位发挥疗效。在干粉吸入剂的制备技术中，喷雾干燥法因其工艺灵活、颗粒形貌可控、无需微粉化后处理等优势，成为近年来研发和产业化的主流路径之一。而在喷雾干燥系统中，雾化环节直接决定了液滴的初始尺寸分布，进而影响最终干粉颗粒的粒径和形貌。超声波雾化技术凭借其温和、高效、粒径可控等独特优势，在干粉吸入剂的喷雾干燥制备中展现出广阔的应用前景。 一、超声波雾化系统的技术原理与核心规格 超声波雾化的基本原理是：超声波换能器将电能转化为高频机械振动，通过变幅杆传递至喷嘴前端的雾化面，在液体表面形成毛细波，当振动幅度足够时，液滴从表面脱离并形成均匀细小的雾化液滴。这一过程中，液滴的尺寸主要由超声频率决定——频率越高，液滴越细小。超声波喷雾干燥系统的核心参数包括频率、液滴粒径、流速和液体粘度适用范围等。 目前市面上的超声波喷嘴典型规格如下：频率为50千赫兹，在此频率下产生的中位液滴粒径约为36微米，液体流速范围为0.1至10毫升/分钟，适用于粘度低于30厘泊的液体，固液体比不超过25%，喷嘴功率一般低于20瓦。值得注意的是，通过调整超声波频率可以精确控制液滴粒径：较低频率（如25千赫兹）可产生较大的雾化液滴，而较高频率（如48、60甚至120千赫兹）则对应更细小的液滴——例如，25千赫兹对应约55微米的样品颗粒，60千赫兹对应约31微米，120千赫兹可降至约18微米。这一可调性为干粉吸入剂的粒径控制提供了灵活的技术手段。对于高频精密应用，有研究报道在兆赫兹级别（如1.0兆赫兹和2.5兆赫兹）的超声频率下，可产生4.1微米和2.2微米的单分散液滴，对应的固体颗粒尺寸可小至0.4微米，显示了超声波雾化技术在超细粉末制备领域的巨大潜力。 二、粒径控制能力与1～5微米目标粒径的实现 干粉吸入剂的核心质量属性之一就是药物颗粒的空气动力学直径控制在1～5微米范围内。超声波雾化系统在这一目标上具有独特的优势。首先，液滴尺寸与最终干粉颗粒尺寸之间存在明确的关联关系——在给定溶液浓度的条件下，颗粒直径约等于液滴直径乘以溶质体积分数的立方根。因此，通过选择适当的超声频率控制初始液滴尺寸，再配合进料浓度和干燥参数的调节，可以实现对最终颗粒尺寸的精确调控。有研究表明，采用25千赫兹的超声波喷嘴对低浓度肽溶液进行喷雾干燥，可以通过调节进料速率、进料浓度和干燥温度等工艺参数来有效控制颗粒尺寸，其中进料速率是影响粒径的主导因素。 [...]