超声波微电子领域的金线/银线键合
在超声波微电子领域,金线键合与银线键合是实现芯片与外部电路电气连接的关键工艺,对电子产品的性能和可靠性起着决定性作用。
金线键合凭借诸多优势,成为半导体封装工艺的主流选择。金具有良好的延展性,能在键合过程中适应各种复杂的形状变化,确保键合的紧密性。其出色的导电性,可有效降低信号传输的电阻,保障信号快速、稳定地传递,这对于对信号处理速度要求极高的微电子器件至关重要。而且,金线键合后能提供足够的键合强度,保证连接的稳固性,减少在产品使用过程中因震动、温度变化等因素导致连接失效的风险。同时,它易形成良好的回线形状,有助于优化芯片内部的布线布局,提高空间利用率。金线键合通常采用热压超声键合方式,这种方式巧妙地结合了热压与超声能量。热压使金线在一定温度和压力下初步与焊盘贴合,超声能量则进一步促使金属原子间相互扩散融合,极大地提升了键合质量。相比单纯的热压键合,热压超声键合降低了加工温度,避免了高温对芯片造成的潜在损伤,同时增强了键合的牢固程度,有力地保障了器件的可靠性。
银线键合在特定场景中也展现出独特价值。从成本角度看,银的价格低于金,在大规模生产中,使用银线可显著降低材料成本。在一些对光反射有要求的应用,如 LED 设备中,银线较高的反射率能提升发光效率,优化产品性能。当芯片焊盘较为敏感,不能使用铜且易被铜的高结合力损坏时,银线便成为理想的键合材料。不过,银线键合也面临一些挑战。例如,银的化学性质相对活泼,在某些环境下可能出现氧化现象,影响键合的长期稳定性,这就需要在键合工艺中采取特殊的保护措施,如在特定的保护气氛下进行键合操作,以减少氧化风险。

在键合过程中,诸多因素会影响键合质量。超声功率对键合效果影响显著,若功率过强,金属原子剧烈运动,会在键合区域形成较大空隙,导致键合面积减小、焊缝强度降低,甚至引发导线塑性变形;若功率不足,又无法有效去除键合区域的杂质和氧化物,致使键合强度大打折扣,严重时键合作业无法完成。超声作用时间同样关键,时间过短,金丝及被焊芯片表面的附着层和氧化膜无法彻底清除,原子间难以形成稳固的冶金结合,容易出现脱黏问题;时间过长,则可能降低焊点的机械强度,极端情况下导致焊点损坏。键合压力也不容忽视,压力不足,金丝与焊盘无法牢固连接,还可能使金丝黏附在劈刀尖端;压力过大,金丝过度变形甚至断裂,芯片表面的金属层也可能被破坏。
金线和银线键合在超声波微电子领域各有千秋,随着微电子技术的不断发展,对键合工艺的要求也日益提高。未来,科研人员将持续优化键合工艺参数,研发新的键合材料和技术,以满足微电子器件向更小尺寸、更高性能、更低功耗发展的需求,推动整个超声波微电子领域不断向前迈进
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